減速機精度也稱為回程間隙，將輸出端固定，輸入端順時針和逆時針方向旋轉，使輸出端產生額定扭矩+-2%扭矩時，減速機輸入端有一個微小的角位移，此角位移即為回程間隙。單位是“弧分”，即一度的六十分之一。通常的回程間隙值均指減速機的輸出端。步進電機行星減速機具有高剛性、高精度（單級可做到1分以內）、高驅動效率(單級在97%-98%)、高的扭矩/體積比、終身免維護等特點。

步進電機的驅動精度是不能調節的，步進電機的運行角度完全由步長與脈沖數來確定，而脈沖數是可以完整的計數，數字量是不存在精度這個概念的，一步就是一步，二步就是二步。目前能優化的精度是行星減速機齒輪箱的齒輪回程間隙精度：

1.主軸精度調整方法：行星減速機主軸旋轉精度的調節，如果主軸本身的加工誤差滿足要求，那么減速器主軸的旋轉精度一般由軸承決定。調節主軸旋轉精度的關鍵在于調節軸承間隙。維持一個合適的軸承間隙對主軸部件的性能和軸承壽命至關重要。對滾動軸承而言，有較大間隙時，不僅會使載荷集中作用于處于受力方向的滾動體上，而且會在軸承內外圈滾道接觸處產生嚴重的應力集中現象，縮短軸承壽命，還會使主軸中心線發生漂移，易造成主軸部件振動。所以，滾動軸承的調節必須預先加載，使軸承內部產生一定的過盈量，從而在滾動體與內外圈滾道接觸處產生一定的彈性變形，從而提高軸承的剛度。

2.調整間隙法：行星減速機在運動的過程時會產生摩擦，引起零件之間的尺寸、形狀和表面質量的變化，并產生磨損，使零件之間的間隙配合增大，此時我們需對其進行合理范圍的調整，以保證零件之間相對運動的準確性。

3.誤差補償法：把零件自身誤差通過恰當的裝配，使其在磨合期間相互抵消的現象，以保證設備運動軌跡的準確性。

4.綜合補償法，用減速機自身安裝的工具來使加工已經轉配調整正確無誤的工作臺面，以消除各項精度誤差的綜合結果。